臭氧(O3)又称为超氧，是氧气(O2)的同素异形体，在常温下，它是一种有特殊臭味的淡蓝色气体。臭氧主要分布在10~50km高度的平流层大气中，极大值在20~30km高度之间。在常温常压下，稳定性较差，可自行分解为氧气。臭氧具有青草的味道，吸入少量对人体有益，吸入过量对人体健康有一定危害。不可燃物，纯净物。
化学式：O3
分子量：47.9982
臭氧熔点：-192℃
臭氧沸点：-111℃
水溶性：1体积水溶解0.494体积臭氧
密度：2.14g/L(0℃，0.1MPa)
外观：常温下蓝色气体
臭氧产量的单位是mg/h或g/h(毫克/小时、克/小时)，即臭氧发生器工作1小时能够产生多少重量单位的臭氧。
臭氧在空气中的浓度单位是ppm或mg/m3;臭氧在水中的浓度单位是ppm或mg/L。
在空气中时1ppm=2 .144mg/m3;在水中时，1ppm=1mg/L。
