臭氧发生器以臭氧为氧化剂将烟气中不易溶于水的NO氧化成更高价的氮氧化物，然后以相应的吸收液对烟气进行喷淋洗涤，实现烟气的脱硝处理。本技术脱硝效率高(90%)，对烟气温度没有要求，可作为其他脱硝技术的补充，达到深度脱硝。
臭氧氧化吸收脱硝法以臭氧为氧化剂将烟气中不易溶于水的NO氧化成NO2或更高价的氮氧化物，然后以相应的吸收液(水、碱溶液、酸溶液或金属络合物溶液等)对烟气进行喷淋洗涤，使气相中的氮氧化物转移到液相中，实现烟气的脱硝处理。
经过氧化后的烟气在洗涤塔中主要发生如下反应：
NO2+H2O→HNO3+NO
N2O5+H2O→HNO3
NO+NO2+2NaOH→2NaNO2+H2O
全套臭氧氧化脱硝工艺系统简单，容易在原有脱硫塔基础上改造并实现脱硫脱硝同时进行;脱硝效率高(可达90%以上);根据烟气中氮氧化物的实时监测，可实现氧化剂(臭氧)投加量的精确控制，使系统的运行效率不受锅炉运行状态影响;系统运行温度低，可实现低温脱硝处理;系统运行效率不随运行时间增加而下降，大大减少脱硝系统的停机检修时间;臭氧的氧化能力也能实现对烟气中其它有害成分(如汞)的氧化脱除，能满足将来越来越严的要求。
