5g/h臭氧系统设备分为三个部分：
1.制氧机气源单元
本部分中包含有制氧机配套单元，包含了无油压缩机、风冷换热器、过滤器、氧气发生器、所有的管路、固定件、阀门连接，以及为保证设备安全运行所需的仪器仪表，一体化机柜基座。
2.配电系统控制单元
采用专门 新研发的LCD控制屏用于系统控制的配电柜，实现对电气设备的控制、隔离和保护。主要包含有电源供电单元和制氧机系统控制和臭氧发生器所需的电气控制。
3.5g/h臭氧机
臭氧设备中采用了先进的平板非玻璃电介质模块，该模块具有优异的抗冲击性，使整个设备更耐用，臭氧制备性能更优异，所制得的臭氧化气体中臭氧浓度可达5～10%(质量浓度)。在特殊运行条件下还可以制得臭氧浓度更高的臭氧化气体，但由于可能会导致臭氧产量不稳定，并不建议在此条件下连续运行。
