目前可以用来清楚或分解接触器尾气中臭氧的方法有：
预臭氧化
当用富氧气体发生臭氧时，一般是实行尾气循环回到臭氧发生器，这项技术是以氧的经济回用为基础的。要成功应用，尾气必须活着被加压或者被吸引通过臭氧生产系统的空气处理装置。
尾气循环到臭氧发生器
稀释后排放
淋洗和化学捕获
热分解
热分解法是当前用于消除臭氧处理厂尾气所含臭氧使用最广泛的技术。可采用的工艺有三种：
1)单通道电阻加热
2)通过热交换加热
3)加热并过热燃烧
在可燃载体上吸附和反应
催化分解
兼有分解和随后分解的吸收
当前，热分解是采用最广泛的方法。
